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精密鑄造件回火的目的是改善工件的使用性能，其特點是改善鑄鐵平臺和高頻設備床身鑄件的內在質量。為使和高頻設備精密鑄造有所需要的力學性能、物理性能和化學性能，除合理選用材料和各種成形工藝外， 熱處理工藝是必不可少的。
高頻設備床身鑄件回火時應嚴格遵守回火工藝，筋板密集或易變形部位應加支撐筋，防止應回火溫度導致變形和斷裂。應有專人看管回火爐溫度計，及時控制溫度，防止溫度過高或過低，這樣會對回火工件有很大的影響。
高頻設備精密鑄造的熱處理是機械制造中的重要工藝環節，與其它加工工藝相比，熱處理一般不改變工件的形狀和整體的化學成分，而是通過改變工件內部的顯微組織，或改變鑄鐵平臺和高頻設備鑄件表面的化學成分，賦予或改善工件的使用性能。
精密鑄件淬火后存在很大內應力和脆性，如不及時回火往往會使精密鑄件發生變形甚至開裂。獲得工件所要求的機械性能，工件經淬火后硬度高而脆性大，為了滿足各種工件的不同性能的要求，可以通過適當回火的配合來調整硬度，減小脆性，得到所需要的韌性，塑性。
對于退火難以軟化的某些合金鋼，在淬火（或正火）后常采用高溫回火，使鋼中碳化物適當聚集，將硬度降低，以利切削加工。
